厚度：0.03-0.2mm
應用：用于薄膜和涂層的化學氣相沉積（CVD）和物理氣相沉積（PVD）
雜質含量表（%,max）
元素
含量
元素
含量
元素
含量
元素
含量
Na
0.0005
Ti
0.0001
Cu
0.0001
Sb
0.0001
Mg
0.0001
V
0.0001
Zn
0.0001
Ta
0.0001
Al
0.0005
Cr
0.0005
As
0.0001
W
0.0005
Si
0.0005
Mn
0.0001
Zr
0.0001
Pb
0.0001
P
0.0005
Fe
0.0008
Mo
0.0010
Bi
0.0001
K
0.0005
Co
0.0001
Cd
0.0001
Se
0.0001
Ca
0.0005
Ni
0.0001
Sn
0.0001
H
0.005
O
0.01
C
0.002
N
0.001
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